電子行業(yè)綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)解讀之二：半導(dǎo)體集成電路制造業(yè) 晶圓

為進(jìn)一步發(fā)揮標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范引領(lǐng)作用，將電子行業(yè)綠色工廠創(chuàng)建行動(dòng)引向深入，在工業(yè)和信息化部的指導(dǎo)下，中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、全國綠色工廠推進(jìn)聯(lián)盟牽頭編制了18項(xiàng)電子行業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。本批標(biāo)準(zhǔn)在進(jìn)一步明確了評(píng)價(jià)原則、評(píng)價(jià)方法、評(píng)價(jià)指標(biāo)體系、評(píng)價(jià)具體要求、評(píng)價(jià)程序和評(píng)價(jià)報(bào)告等相關(guān)技術(shù)內(nèi)容，為電子制造業(yè)綠色工廠創(chuàng)建和評(píng)價(jià)提供了標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)。為幫助相關(guān)企業(yè)和機(jī)構(gòu)準(zhǔn)確應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)對(duì)部分標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行解讀，供參考借鑒。

晶圓是硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，晶圓制造是半導(dǎo)體集成電路的重要制程，由晶圓進(jìn)一步制造的半導(dǎo)體集成電路芯片是廣泛應(yīng)用于各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)的重要核心元器件。《半導(dǎo)體集成電路制造業(yè) 晶圓 綠色工廠評(píng)價(jià)要求》（T/CESA 1081-2020）（以下簡稱“本標(biāo)準(zhǔn)”）規(guī)定了半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)晶圓綠色工廠評(píng)價(jià)的原則、方法、指標(biāo)體系及要求、程序和報(bào)告等，適用于對(duì)生產(chǎn)8英寸或12英寸的半導(dǎo)體集成電路晶圓產(chǎn)品的工廠進(jìn)行評(píng)價(jià)，其他類型集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)制造工廠也可參照使用。

本標(biāo)準(zhǔn)圍繞《綠色工廠評(píng)價(jià)通則》（GB/T 36132）及《電子信息制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)導(dǎo)則》（SJ/T 11744）中規(guī)定的基本要求，以及基礎(chǔ)設(shè)施、管理體系、能源資源投入、產(chǎn)品、環(huán)境排放、績效等6個(gè)一級(jí)指標(biāo)展開，充分考慮晶圓產(chǎn)品制造業(yè)的特征特性，進(jìn)一步細(xì)化了28個(gè)二級(jí)指標(biāo)，涉及111個(gè)具體要求。如，晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)廠房設(shè)計(jì)應(yīng)滿足《硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50809）的要求，潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)滿足《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50472）的要求；晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)應(yīng)根據(jù)工藝選擇淋洗、噴洗、多級(jí)逆流漂洗、回收或槽邊處理的清洗方式，不采用單槽清洗等方式；應(yīng)配備適宜生產(chǎn)規(guī)模的揮發(fā)性有機(jī)物處理裝備；應(yīng)運(yùn)用適宜生產(chǎn)規(guī)模的臭氧層消耗物質(zhì)消解破壞技術(shù)和裝備等。

為保證評(píng)價(jià)工作可操作性，本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)“用地集約化、原料無害化、生產(chǎn)潔凈化、廢物資源化、能源低碳化”5項(xiàng)綠色工廠績效指標(biāo)進(jìn)行細(xì)化和分級(jí)，將晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)制造工廠的綠色績效水平分為3個(gè)級(jí)別，并給出不同績效水平對(duì)應(yīng)的指標(biāo)要求和評(píng)價(jià)得分。如，明確晶圓制造業(yè)“生產(chǎn)潔凈化”對(duì)應(yīng)的“單位產(chǎn)品臭氧層消耗物質(zhì)產(chǎn)生量”指標(biāo)要求，8英寸產(chǎn)品生產(chǎn)工廠指標(biāo)分別為≤28.8mg/cm2（1級(jí)）、≤51.9mg/cm2（2級(jí)）、≤57.5mg/cm2（3級(jí)），12英寸產(chǎn)品生產(chǎn)工廠指標(biāo)分別為≤23.4mg/cm2（1級(jí)）、≤42.1mg/cm2（2級(jí)）、≤46.8mg/cm2（3級(jí)）；“能源低碳化”對(duì)應(yīng)的“單位產(chǎn)品綜合電耗”指標(biāo)要求，8英寸產(chǎn)品生產(chǎn)工廠指標(biāo)分別為≤0.83kWh/cm2（1級(jí)）、≤1.27kWh/cm2（2級(jí)）、≤1.72kWh/cm2（3級(jí)），12英寸產(chǎn)品生產(chǎn)工廠指標(biāo)分別為≤0.66kWh/cm2（1級(jí)）、≤1.02kWh/cm2（2級(jí)）、≤1.38kWh/cm2（3級(jí)）等。

中芯國際、中芯北方、施耐德電氣等企業(yè)參與了本標(biāo)準(zhǔn)的研制和驗(yàn)證。  

相關(guān)閱讀：電子行業(yè)綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)解讀之一：多晶硅制造業(yè)

編輯：李丹